美国Aalborg流量计/气体质量流量计

发表时间：2014-09-03 浏览：1077

美国Aalborg气体质量流量计, Aalborg控制器
 
美国Aalborg公司成立于1972年,是国际上**的生产精密流量计及控制仪表的公司。Aalborg公司生产的转子流量计和热式质量流量控制器目前已经成为经济高效型流量测量及控制产品的代表。设计出了铝,不锈钢,铜,和PTFE材料的流量计,尤其是转子流量计从微流量到工业级的范围,热式质量流量控制器现场显示以及电子式流量控制器在各种气体和液体中都具有典型的应用特点。是世界上**的气体质量流量计/控制器的生产厂家，其产品广泛用于微电子工艺、真空镀膜、 材料科学 、石油化工、医药、环保等领域。
 
产品特点：性价比高、响应速度快、可靠性高，易于集成、环路保护、备总量计数器
典型应用：CVD、PVD、刻蚀、等离子注入、溅射、ITO、玻璃镀膜、表面处理等镀膜工艺。
设计特点：
－刚性金属结构
－流程范围从0开始到10sccm直到0到1000slpm
－*大压力500psig（34.5Bar）
－泄漏率1＊10-7氦气
－NIST系统标定可追踪的证明
－可倾斜的LCD读表
－0-5Vdc或4-20mA信号输出
－电路保护
－可用作便携式的设备
－0到100％比例显示
－可配备流量计算机

精度：±1.5％满量程，包括59℉到77℉的气体温度（15℃到25℃）和5到60psia（0.4到4.1bar）的压力。可选±1％满量程（标定精度），在给定的温度与压力值条件下。
重复性：±0.5％满量程
回应时间：实际流速±2％超过满量程25-100％一般2秒
温度系数：0.15％满量程／℃
压力系数：0.01％满量程／psi（0.07bar）
气体／周围温度：32℉-122℉（5℃-50℃）
输出信号：0-5Vdc，*小1000Ω。4-20mA、0-250Ω回路电阻
传感器输出：＋12Vdc；*大200Ω。＋24Vdc可选
时间恒量：800ms

气体压力：*大1000psig（70bar）。可选20psig（1.4bar）
流体接触面材质：A：GFC铝系列为阳极电镀铝、316不锈钢、铜和氟橡胶圆环
B：GFC17S，37S，47S，57S，67S，77S不锈钢系列：316不锈钢、氟橡胶圆环可选氯丁橡胶圆环。
方位灵敏度：水平到垂直旋转低于15度；标准校准是在水平位置
连接：GFC17和37：1／4"卡套螺纹VCR®或1／8"卡套可选（GFC17）
GFC47：3／8"卡套螺纹
GFC57：3／8"卡套螺纹
GFC67：1／2"卡套螺纹
GFC77：3／4"卡套螺纹
VCR®或3／4"卡套可选（GFC77）
   

AALBORG	24K1 24K8 24K9 0,05 s-300h	2 C/O inst.contact
AALBORG	24K6 24K8 24K9 0,05 s-300h	1 C/O inst.contact
AALBORG	GFM57	N2 200SLPM  24VDC
AALBORG	PWM4
AALBORG	TYPE:mission om SN:19495	cable H07RN-F 3G 1.5m㎡
AALBORG	TYPE:mission om SN:19495	cable H07RN-F 2G 1.0m㎡
AALBORG	TYPE:mission om SN:19495	cable high voltageD-8.0mm 2p/3
AALBORG	GFC17S-VDDN4-EO
AALBORG	GFC57AVDDN4
AALBORG	GFC77AVFDN4
AALBORG	GFC67AVEDN4

 
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