BROOKS橡胶密封热式质量流量计/控制器4800系列
热式质量流量计和控制器的响应速度越快，工艺就越高效，生产效率越高。响应速度是 4800 系列的主要优势：该产品将基于 MEMS 的热传感器与独有的 PID 算法相结合以优化控制阀的响应速度，因此使4800 系列控制器能够根据设定值变化快速匹配实际的流量。本地操作界面 (LOI) 的选项能便于用户对设备进行查看、控制和配置，无需远程二次仪表。
特点

流量响应时间（完成时间）<0.75 s
型 MEMS 传感器和独有的 PID 算法
尺寸小巧，不足常规热式MFC的 一半：1'' x 3''x 4'' (25 mm x 76 mm x 101 mm)
本地操作界面 (LOI) 选项可简化设置和操作；免费提供 LabVIEW VI 下载以进行设备监测和调零
通过 RS-232 实现数字化功能
优势
非常适用于各种常见的无腐蚀性气体
响应速度快，可在切换工艺配方时确保各步骤的迅速完成
非常适用于各 OEM：尺寸小巧，可轻松集成至紧凑的设备空间内并有助于加快安装
可选本地操作界面 (LOI) 是本地指示、设定值控制和设备配置的一站式解决方案；无需借助远程二次仪表
拥有多种通信方式，可轻松满足用户需求
应用
热处理、切割/焊接等其他热式工艺
太阳能/薄膜物相沉积 (PVD) 系统
用于测量和控制反应物、校准和样品气体流量的分析设备
Brooks Instrument是精密流体测量和控制技术的全球***，能够实现的工艺性能，成立于1946年美国。是是ITW一个部门，ITW是的专业工业设备，消耗品和相关服务业的多元化制造商之一。主要产品包括：Brooks Instrument质量流量控制器、Brooks Instrument转子流量计、Brooks Instrument压力传感器、变送器、真空计、调节器、控制器等，广泛应用于重工业、油气精炼、化学和石化研究、制药和生物制药生产、太阳能电池、LED薄膜、光纤和半导体制造领域。