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Pfeiffer ASM 390 检漏仪-Pfeiffer氦质谱捡漏仪ASM 390

发表时间:2019-05-09 16:30 作者:智鸢机电 来源:www.zhiyuanjd.com.cn 浏览:

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ASM 390 和 ASM 392 是完美的泄漏检测解决方案,可用于半导体和平板显示器行业以及其他要求极高的应用,这些应用需要快速的抽空时间和高灵敏度。 两种设备都完全符合 Semi S2标准。

这些检漏仪都配有干式非接触式前级真空和强大的高真空涡轮分子泵,从而使其成为清洁环境下各种组件泄漏测试的理想工具。ASM 392 装有一台额外的涡轮分子泵,可以加速泄漏检测流程,降低生产设备的停机时间。

Pfeiffer检漏仪

Pfeiffer ASM 390 检漏仪针对所有测量范围内的快速和准确泄漏测试进行了优化。该型号是高干泵吸性能、高灵敏度和占地面积最小和机动性的完美结合。

Pfeiffer ASM 390 检漏仪产品描述:

1、具备配备无摩擦和无机油式 ACP 泵的 35 m3/h (21 cfm) 初步处理能力。

2、10 l/s 的氦气抽速,响应速度更高。

3、20 hPa 交叉泄压,可以快速进入测量模式,还可用于测量大泄漏的大量模式。

4、具有360度全方位视角,分辨率极高的彩色触摸屏。

5、直观的菜单与密码保护,可防止意外使用。

6、可通过接口板与外部系统(PC 或 PLC)进行自动化控制。

Pfeiffer氦质谱捡漏仪ASM 390 HE LEAK DETE CTOR 1(RC10)


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